挥发性有机物（VOCs）和氮氧化物（NOx）可以在大气中通过一系列光化学反应生成臭氧（O3），其属于二次污染物，对人体健康和生态环境均产生较大影响。《环境空气质量标准》（GB 3095—2012）将臭氧8 h浓度作为一项监测指标，其参与空气质量考核[1]。监测数据显示，近年来，我国重点城市颗粒物污染有所减缓，但臭氧污染问题日益严峻，尤其在京津冀地区，O3浓度不降反升，其与PM2.5并列成为影响空气质量的重要污染物，高质量的臭氧监测数据对打赢我国大气污染防治攻坚战起到基础保障作用。
臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。
1.氧气源使臭氧出口浓度提高8-10倍。空气源臭氧发生管出口浓度高为9-11尘驳/尝,低小于1尘驳/尝。而采用氧气，出口浓度可达80-130尘驳/尝。
2.氧气源使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些细菌病毒用空气源臭氧很难杀死，采用氧气源臭氧就很容易杀死。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化。
3.氧气源使臭氧产量提高3-5倍。氧气源臭氧发生器比空气源臭氧发生器提高产量3-5倍。大大提高了臭氧发生管的利用效率。
4.氧气源没有氮化物污染。臭氧管采用空气源时，因为空气中含78%的氮气，所以在产生臭氧的同时会有氮化物产生。而采用氧气源避免了氮化物的产生。
5.氧气源系统体积小。臭氧发生器采用空气源，气体的前期处理结构庞杂，结构比氧气源臭氧发生器至少大3倍，耗电相应增加，导致成本增加，维护费用增加。采用制氧机提供氧气，臭氧浓度大大提升，综合造价大大降低。
